Die Mikrosystemtechnik

In der Entwicklung, beschäftigt sich ein Teilbereich der Mikrotechnik, mit der Herstellung, von komplexem System, wie zum Beispiel mikromechanische oder mikrooptische Bauelemente mit mikroelektronischen Schaltungen.

Es werden für die Herstellung komplexer Mikrosysteme Verfahren entwickelt, wo Sensoren, Aktoren und die Datenverarbeitung mit einander agieren.
Dazu zählen unteranderem die Mikromechanik, die Mikrooptik (Aktoren und Sensoren) und die Mikrofluidik, sowie die Mikroelektronik (elektronische Schnittstellen).
Die Integration in ein System erfolgt über monolithische in Halbleitermaterialien wie z.B. Silizium oder Gallium-Arsenid. Die Verfahren, die dabei zur Herstellung genutzt werden, sind sehr vielfältig.
Neben den typischen Dünnschichttechniken, werden auch Abformtechniken wie z.B. Liga genutzt.
Auch die Ätztechnik zählt bei der Herstellung von Mikrosystemen dazu.
Es werden fast alle Arten von Werkstoffen verwendet, die man nutzen kann.
Darunter zählen Arten wie Metalle, Keramik, Sol-Gel-Materialien, Kunststoffe und noch vieles mehr.

In einer Vielzahl, von bereits typischen Anwendungen, sind Sensoren und Aktoren in der Medizintechnik, in der Verkehrstechnik und in der Elektrotechnik zu finden.
In der Elektrotechnik versucht man, dank der Mikrosystemtechnik, neue und innovativere Energieversorgungssysteme zu entwickeln und versucht somit bei beispielsweise Mobil Geräten wie Handys, immer kleinere und leistungsfähigere Akkumulatoren ein zubauen.

Es gibt natürlich noch viele weitere Anwendungsbereiche der Mikrosystemtechnik, wie unter anderem aus Bereichen der Informatik, der Biotechnologie und natürlich der Nanotechnologie.
Die Abmessungen der hier entwickelten funktionsbestimmten Strukturen liegen hierbei im Mikrometerbereich, was auch als Abgrenzung der Nanotechnologie bezeichnet wird.
Ein wichtiger Schlüssel in der Nanotechnologie ist hierbei die Mikrosystemtechnik.

Ohne die Mikrosystemtechnik währen die meisten Entwicklungen in der Nanotechnik einfach nicht nutzbar.
In mikrostrukturierten Apparaten, laufen im Randbereich der Mikrosystemtechnik verfahren, die sich entweder mit physikalischen und/oder chemischen Prozessen beschäftigt.
Es gibt in der englischen Literatur keine einheitliche Definition für den Begriff Mikrosystemtechnik.
In Europa wird meist die Bezeichnung Micro Systems Technology genutzt, während man sich in den USA hingegen weniger auf Mikrosysteme selbst bezieht, sondern mehr die dahinterliegenden Techniken bezeichnet.

So werden die Begriffe Micro-Electro-Mechanical Systems und Micro-Opto-Mechanical Systems genutzt.
In den meisten Wissenschaftlichen Einrichtungender USA, werden jedoch nur noch die Abkürzungen MEMS für Micro-Electro-Mechanical Systems oder MOEMS für Micro-Opto-Mechanical Systems genutzt. In Japan sind die Begriffe ganz ähnlich.
Jedoch sagt man hier statt Micromechanik, einfach Micromachines.